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本文介绍了静电驱动的原理和优势,综述了静电力驱动在微机械陀螺、谐振式加速度传感器和谐振式压力传感器近年来的研究现状。最后指出了静电力驱动现阶段存在的问题并提出了解决方案。
静电力驱动在现代传感技术中的应用
【摘 要】
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本文介绍了静电驱动的原理和优势,综述了静电力驱动在微机械陀螺、谐振式加速度传感器和谐振式压力传感器近年来的研究现状。最后指出了静电力驱动现阶段存在的问题并提出了
【机 构】
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西安市铁一中学
【出 处】
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通讯世界
【发表日期】
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2018年8期
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