【摘 要】
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光刻是一种将图形复印和腐蚀相结合的精密表面加工技术.在半导体平面管和集成电路的生产过程中,光刻的目的就是按照设计的要求,在氧化硅或金属膜上,刻蚀出与掩模版完全对应的
【机 构】
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南京工学院生物医学工程系,南京工学院生物医学工程系
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光刻是一种将图形复印和腐蚀相结合的精密表面加工技术.在半导体平面管和集成电路的生产过程中,光刻的目的就是按照设计的要求,在氧化硅或金属膜上,刻蚀出与掩模版完全对应的或预计的几何图形,以实现选择性扩散和金属膜布线的目的.
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