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基于严格耦合波和增强透射矩阵的方法，提出了一种数值稳定的求解多层介质膜光学特性的机理模型．利用该模型计算了多层介质膜光栅用高反射镜的优化设计膜系．使用电子束热蒸发方式制备的多层介质膜光谱特性和理论设计的结果符合得很好，该严格耦合波模型是分析介质膜光学特性有效的稳定的数值求解方法．
多层介质膜光栅用高反射镜的严格耦合波分析
【摘 要】
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基于严格耦合波和增强透射矩阵的方法，提出了一种数值稳定的求解多层介质膜光学特性的机理模型．利用该模型计算了多层介质膜光栅用高反射镜的优化设计膜系．使用电子束热蒸发方式
【机 构】
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青岛大学物理科学学院,中国科学院上海光学精密机械研究所
【出 处】
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光子学报
【发表日期】
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2009年6期
【基金项目】
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Supported of National Nature Science Foundation of China（10804060） and Project of Shandong Province HigherEducational Science and Technology Program（J08LI05）
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