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本文简要介绍了英国ＭＲ公司生产的ＰＧＲ３０００型磷化镓多晶合成炉的工艺原理，简述了我们利用该设备研制生产大投料量磷化镓多晶的工艺，报道了产品目前所达到的技术水平，并指出了进行工业生产应解决的关键问题。
大投料量磷化镓多晶的工业生产
【摘 要】
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本文简要介绍了英国ＭＲ公司生产的ＰＧＲ３０００型磷化镓多晶合成炉的工艺原理，简述了我们利用该设备研制生产大投料量磷化镓多晶的工艺，报道了产品目前所达到的技术水平，并指出了进行工业生产应
【机 构】
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淄博金晶材料厂
【出 处】
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山东电子
【发表日期】
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1998年1期
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