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期刊论文
大投料量磷化镓多晶的工业生产
大投料量磷化镓多晶的工业生产
来源 :山东电子 | 被引量 : 0次 | 上传用户:rian2sd
【摘 要】
:
本文简要介绍了英国MR公司生产的PGR3000型磷化镓多晶合成炉的工艺原理,简述了我们利用该设备研制生产大投料量磷化镓多晶的工艺,报道了产品目前所达到的技术水平,并指出了进行工业生产应
【作 者】
:
王泽树
鹿亮
【机 构】
:
淄博金晶材料厂
【出 处】
:
山东电子
【发表日期】
:
1998年1期
【关键词】
:
磷化镓多晶
三温区加热炉
时频感应加热
制备
GaP Polycrystal
Three-zone furnace
RF induction heating
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本文简要介绍了英国MR公司生产的PGR3000型磷化镓多晶合成炉的工艺原理,简述了我们利用该设备研制生产大投料量磷化镓多晶的工艺,报道了产品目前所达到的技术水平,并指出了进行工业生产应解决的关键问题。
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