论文部分内容阅读
研究用溅射法制作CrSi电阻中，工艺技术与工艺参数间的相互关系，给出了高方阻，低温度系数CrSi薄膜电阻制备的方法，及其工艺条件的确定。
CrSi薄膜电阻制作工艺
【摘 要】
：
研究用溅射法制作CrSi电阻中，工艺技术与工艺参数间的相互关系，给出了高方阻，低温度系数CrSi薄膜电阻制备的方法，及其工艺条件的确定。
【机 构】
：
中国兵器工业第214研究所
【出 处】
：
集成电路通讯
【发表日期】
：
2007年1期
其他文献
本文以某种电路测试系统制作实例为基础，应用VisualC＋＋来设计人机对话界面，着重说明了VisualC＋＋对话框及一些控件的设计方法。
在LTCC基板加工中，生瓷预烘干、图形印刷后烘干可能会产生形变。为满足产品平整度及加工位置精度要求，本文介绍了LTCC基板制造过程中烘干的工艺方法，并通过工艺试验对当前所用两
本文简要介绍用ADS（Advanced Design system）和HFSS（High Frequency Structure Simulator）等微波仿真软件，设计一种用集中元件构成的低通微波滤波器。先用ADS在二维场仿真与
本文介绍一种利用TPS5602及MOSFET功率管来实现替代国外公司PT6932精密DSP功率开关电源的设计技术方案以及其混合犀膜集成电路产品的成功研制，并最终满足用户所需的产品要求。
随着印制电路板向多层次、高密度、高可靠性、薄型化、小型化、功能化方向发展，电子元器件产品采用PCB板设计的频率越来越高，而PCB板设计是涉及到多门类技术的综合性设计，要求设