论文部分内容阅读
文章跟踪微电子技术的发展对深亚微米各技术时代ULSI的发展历程中所遇到的一些材料、技术物理问题及研究成果进行综述评论,.这些问题包括Cu/低ε介质互连系统、CMOS器件运作的内在结构及电接触问题、高ε栅极氧化物材料、SOI、SiGe、SiGe-OI以及大直径硅单晶片等.微电子技术的发展已逼近微电子器件的物理极限,并将逐步发展到它的下一代--纳米电子器件,人类对物质世界的认识也将提高到一个新阶段.