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本文用ＤＣＤ法测量了注入能量为１６０ｋｅＶ，济量为１×１０＾ｄ１４－３×１０＾１６ｃｍ＾Ｔ－２，退火温度为５００－７００℃的Ａｓ＾＋注入Ｓｉ＜１１１＞的Ｒｏｃｋｉｎｇｃｕｒｖｅ。
X射线衍射动力学理论研究As^＋注入Si
【摘 要】
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本文用ＤＣＤ法测量了注入能量为１６０ｋｅＶ，济量为１×１０＾ｄ１４－３×１０＾１６ｃｍ＾Ｔ－２，退火温度为５００－７００℃的Ａｓ＾＋注入Ｓｉ＜１１１＞的Ｒｏｃｋｉｎｇｃｕｒｖｅ。
【机 构】
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辽宁大学物理系
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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1996年11期
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