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退火参数对铁电TiN/HfxZr1-xO2/TiN薄膜器件的电学性能影响网络首发

来源 :微电子学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：buzadi3

【作 者】

：

朱曦  马海力  高天  冯洁  吕杭炳 

【出 处】

：

微电子学

【发表日期】

：

2019年10期

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