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蚀刻简介

来源 :集成电路应用 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bailian121

【摘 要】

：

<正> 集成电路(IC)的制流程,犹如一场精致细密的建筑结构施工。建筑师(Designer & Device Owner)将设计蓝图(Lay Out)和施工流程(Process Flow)设计出来,经过工程部门(模块Mo

【作 者】

：

郭文彬 

【机 构】

：

中芯国际集成电路制造上海有限公司

【出 处】

：

集成电路应用

【发表日期】

：

2003年11期

【关键词】

：

集成电路 湿蚀刻 千蚀刻 等向蚀刻 非等向蚀刻 蚀刻率 均匀性 

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<正> 集成电路(IC)的制流程,犹如一场精致细密的建筑结构施工。建筑师(Designer & Device Owner)将设计蓝图(Lay Out)和施工流程(Process Flow)设计出来,经过工程部门(模块Module)制定施工法则(Setup Pro-cess)后,交由施工单位(制造部MFG)来执行建筑工事。

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