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目前大量的机械系统中应用了微电子机械设备,从而对微机电系统(MEMS)的测量提出了新的要求.现讨论了近几年MEMS主要的几种基于光干涉平台的位移和面形的测量方法.
微机电系统（MEMS）的干涉测量方法的研究进展
【摘 要】
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目前大量的机械系统中应用了微电子机械设备,从而对微机电系统(MEMS)的测量提出了新的要求.现讨论了近几年MEMS主要的几种基于光干涉平台的位移和面形的测量方法.
【机 构】
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南京经济学院计算机系,南京师范大学物理科学与技术学院
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2003年5期
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