钛合金氧化膜的AES和XPS研究

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用X射线衍射仪(XRD)、X射线电子谱仪(XPS)和原位俄歇电子谱(AES)法研究了Ti-Al-V合金在300℃pH9的水中氧化13000h所形成的氧化膜的结构、成分和价态以及其随深度的变化.发现氧化膜是由TiO2、Al2TiO5、Ti3O5、Ti2O3和TiO所组成,并且,氧化膜由表面到基体基本是按以上顺序交迭构成.通过XPS和原位AES分析发现钛合金表面形成稳定的厚约500nm的Ti4+(TiO2)层,随深度的增加出现了Ti3+(Ti3O5、Ti2O3)和Ti2+(TiO),直至基体,氧化膜总厚度约3
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