误差分离统一理论—时域频域分离一致性

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精密、超精密加工技术的发展使得误差分离技术得到了广泛的研究及应用,并取得很大的进展。但以往对误差分离技术的研究,大多是针对具体误差的在线测量和分离的实现或是提高测量精度的措施,而对各种误差分离技术之间的关系及不同误差分离技术的共同点比如时域、频域分离方法的异同等研究不足。本文针对这一问题作较为详尽的分析,并从分离方法的传递特性入手,阐明误差分离技术时域和频域分离方法本质上的一致性,不同之处仅在于表达方式的区别。
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