【摘 要】
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电子束曝光机进行曝光的全部过程都是在电子计算机的控制下进行的。本文介绍了圆形束曝光机的计算机控制系统,包括系统的配置、自制的专用设备、为了提高系统可靠性所采用的
【机 构】
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中国科学院电工研究所,中国科学院电工研究所
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电子束曝光机进行曝光的全部过程都是在电子计算机的控制下进行的。本文介绍了圆形束曝光机的计算机控制系统,包括系统的配置、自制的专用设备、为了提高系统可靠性所采用的有效措施,文中还介绍了该机的软件系统。
The whole process of exposing the electron beam exposure machine is under the control of the electronic computer. This article introduces the computer control system of circular beam exposure machine, including the system configuration, self-made special equipment, in order to improve the reliability of the system adopted by the effective measures, the paper also introduced the software system of the machine.
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