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采用SOI(silicon-on-insulator)材料,设计并制作了双岛敏感结构,通过绝缘层隔离,消除PN结噪声,提高信噪比、线性度及重复性。利用敏感电阻的温度特性直接测量环境温度,进行温度补偿,提高了补偿的准确性,最后通过试验数据说明传感器的精度达到了气象使用要求。
一种新型高精度大气压力传感器的研究
【摘 要】
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采用SOI(silicon-on-insulator)材料,设计并制作了双岛敏感结构,通过绝缘层隔离,消除PN结噪声,提高信噪比、线性度及重复性。利用敏感电阻的温度特性直接测量环境温度,进行温度补偿,提高了补偿的准确性,最后通过试验数据说明传感器的精度达到了气象使用要求。
【机 构】
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中国气象局气象探测中心,中国电子科技集团公司第四十九研究所
【出 处】
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电子测量技术
【发表日期】
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2012年06期
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