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详细介绍了光刻胶热熔法、光敏玻璃热成型法、离子交换法、飞秒激光酸刻蚀法等4种比较实用的制作微透镜阵列的方法,阐述了其原理,分析了各自的优缺点。
微透镜阵列制作技术研究
【摘 要】
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详细介绍了光刻胶热熔法、光敏玻璃热成型法、离子交换法、飞秒激光酸刻蚀法等4种比较实用的制作微透镜阵列的方法,阐述了其原理,分析了各自的优缺点。
【机 构】
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陕西国防工业职业技术学院
【出 处】
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装备制造技术
【发表日期】
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2011年9期
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