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利用MEMS工艺中的牺牲层技术制作了一种新型悬空结构微电感,在此悬空结构中,微电感的线圈制作在与衬底平行的平面上,线圈与衬底之间有立柱支撑;此新型微电感的高频性能较好,且其制作工艺流程简单,与集成电路工艺相兼容。测量结果表明:当工作频率在2GHz～3GHz范围内时,此悬空结构微电感电感量达到4.2nH,Q值最大可达到37。