X射线单晶体定向仪（以下简称X射线定向仪）是对单晶体（如二氧化硅、硅、锗等）各晶面在三维空间相互排列角度进行精密测定的一种检测仪器。生产厂每出厂一台X射线定向仪必须配一块二氧化硅（sio2）衍射晶面（10TI）校准晶体。在生产线使用的X射线定向仪更不可缺少校准晶体，主要作用有两个：
　　（1）在工作前和工作中校准X射线定向仪调整的正确性和检测的准确性。
　　（2）检测吸气泵对晶体吸引力是否满足要求。
　　目前随机配带的或是在用的X射线定向仪的校准晶体都是有较高精度的x射线定向仪检测加工的。这样的校准晶体大量配备在生产企业中，目前对于校准晶体量值溯源由于国内根本没有标准器，所以校准晶体无法溯源。据初步了解国外（德国、日本）用较高精度的x射线定向仪检测加工校准晶体。这种x射线定向仪价格昂贵，每台需要人民币200多万元，所以目前研制一种价格低廉的校准仪器是一项势在必行的工作。
　　研制校准晶体溯源的仪器存在如下主要问题：
　　（1）对校准晶体面角检测室利用x射线衍射叠加测量衍射线最强点的角度值。影响检测角度的正确性因素很多，而且这个角度又不是直观可见的。
　　（2）标准器检测的校准晶体精度要高于任何精度的x射线定向仪，而且角度读值不大于2″。
　　（3）难以确认偏差位置，只有正确确认后才能实时研磨加工和检测。
　　（4）加工精度高，测角与衍射角一致保证校准晶体与测角同步，正确辨认差值困难。
　　研制的理论依据
　　X射线定向仪是根据布喇格方程式nλ=2dsinθ一种实际应用的表达形式。它是用3~4倍铜靶kx特征谱线激发电压（27kv～37kv），使kv特征谱线（λ=0.154nm）投射到已知晶体面上（即sio2晶体10T1晶面），已知10t1晶面d值，满足布喇格方程式条件只有θ角等于13°20′才能产生衍射，测得的角度与理论角度相比较求出偏差，偏差越小越接近理论值。偏差小于30″x射线定向仪很难出。研制的标准器能精确测出3″以下偏差。
　　研究的内容和技术指标
　　（1）大功率x射线光源和配套的铜（cu）靶x射线管，并采取有效的冷却措施；
　　（2）提高的x射线光源保持相对稳定；
　　（3）机械加工和装配安装保证铜靶x射线焦点平面与射线束轴线成Ъ°角。射线束轴线与校准晶体加工平面成θ角（13°20′）精确在3″之内；
　　（4）探测器设有准真光栏，与样品台平面刚性地成θ角（13°20′）
　　（5）设计光电转换积分放大器，通过mA（微安表）显示正确值；
　　（6）正确值的角度读数用不大于2″读值的经纬仪并通过经纬仪读出偏差角正确确认位置，提供研磨加工。
　　该校准仪器的研制彻底解决了在用以及新生产的X射线定向仪校准晶体的量值朔源问题，保证了X射线定向仪的准确可靠，为企业从事生产以及科技研发提供了技术保障。