【摘 要】
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用两种方法测量了几种金属薄膜的密度．介绍了应用卢瑟福背散射（ＲＢＳ）技术结合台阶仪测厚来测量薄膜密度的测量方法，并将所得结果进行了讨论，分析了两种测量方法的优缺点
Two methods
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用两种方法测量了几种金属薄膜的密度．介绍了应用卢瑟福背散射（ＲＢＳ）技术结合台阶仪测厚来测量薄膜密度的测量方法，并将所得结果进行了讨论，分析了两种测量方法的优缺点
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