【摘 要】
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氟化钙晶体微腔相比玻璃材料微腔,具有吸收系数小、缺陷少、纯度高、对周围环境湿度不敏感的优势,在微波光子学、陀螺仪和非线性光学等领域具有潜在的应用价值.通过超精密加
【机 构】
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南昌航空大学无损检测教育部重点实验室,江西南昌330063;中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥230026;中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,安徽合肥230026;南昌航空大学无损检测
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氟化钙晶体微腔相比玻璃材料微腔,具有吸收系数小、缺陷少、纯度高、对周围环境湿度不敏感的优势,在微波光子学、陀螺仪和非线性光学等领域具有潜在的应用价值.通过超精密加工技术制备了回转椭球体氟化钙毫米晶体微腔.研发了一套精密加工系统来制备这种微腔,所制得的微腔形状为回转椭球体,微腔结构边缘表面粗糙度低至1.97 nm.使用光纤锥波导与氟化钙微腔实现了高效耦合,此耦合系统展现了高达～108的超高品质因子Q值和低至约0.03 nm的自由光谱范围.这些结果证明了针对氟化钙微腔的加工手段具有重要意义,将大大促进其应用.氟化钙微腔的特性也证明了它在光学滤波器、腔量子动力学、非线性光学和陀螺仪等应用中的潜力.
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