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介绍超大规模集成电路(VLSI)波导(?)互连技术的最新进展,并预测其发展方向,以及如阿解决存在的实际问题。
超大规模集成电路波导光互连技术的现状与前景
【摘 要】
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介绍超大规模集成电路(VLSI)波导(?)互连技术的最新进展,并预测其发展方向,以及如阿解决存在的实际问题。
【机 构】
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哈尔滨工业大学应用物理系,哈尔滨工业大学应用物理系
【出 处】
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应用光学
【发表日期】
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1992年6期
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