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微电子洁净厂房的设计分析
微电子洁净厂房的设计分析
来源 :制冷与空调(四川) | 被引量 : 0次 | 上传用户:szweixian
【摘 要】
:
针对某微电子工业厂房项目工程,分析电子工业洁净厂房的净化空调系统设计,以及防排烟系统的设计。同时根据电子洁净厂房工艺设备的参数,简述气体动力系统设计。
【作 者】
:
林喜云
【机 构】
:
上海现代建筑设计集团工程建设咨询有限公司
【出 处】
:
制冷与空调(四川)
【发表日期】
:
2019年01期
【关键词】
:
洁净厂房
微电子工业
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针对某微电子工业厂房项目工程,分析电子工业洁净厂房的净化空调系统设计,以及防排烟系统的设计。同时根据电子洁净厂房工艺设备的参数,简述气体动力系统设计。
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