【摘 要】
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为提高精密仪器位移运动的位置精度，需对反馈控制系统进行设计选型。传统反馈元件旋转式电位器以其高可靠性被广泛应用于位置反馈系统中，但是精度有限；直线光栅尺具有精度高和安
【机 构】
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中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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为提高精密仪器位移运动的位置精度，需对反馈控制系统进行设计选型。传统反馈元件旋转式电位器以其高可靠性被广泛应用于位置反馈系统中，但是精度有限；直线光栅尺具有精度高和安装简易的特点，但是成本太高。通过对比测试旋转式电位器和研究兼具电位器与光栅尺的双反馈系统，测量出各自的精度等级，从而为合理选择反馈系统提供依据。对比结果为精密仪器的位置反馈系统的设计提供试验参考。
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