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日本产业技术综合研究所新近研制成功一种能耐1000℃以上高温的导电金属薄膜制造技术。这种耐高温的金属薄膜是由分别制得的两种金属薄膜复合后获得的合金薄膜，首先在氧化锆耐热基板上沉积一层厚约100nm的钌薄膜，随后在钌薄膜上再形成一层同样厚度的钨薄膜，然后于1450℃加热1h即形成WRu合金薄膜。
能耐1000℃以上高温的金属薄膜
【摘 要】
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日本产业技术综合研究所新近研制成功一种能耐1000℃以上高温的导电金属薄膜制造技术。这种耐高温的金属薄膜是由分别制得的两种金属薄膜复合后获得的合金薄膜，首先在氧化锆耐
【出 处】
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金属功能材料
【发表日期】
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2011年4期
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