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5CYJ型井下溅射薄膜压力传感器
5CYJ型井下溅射薄膜压力传感器
来源 :测控技术 | 被引量 : 1次 | 上传用户:huangyq_002
【摘 要】
:
本文介绍了一种新型应变式溅射薄膜压力传感器和它的结构原理及其应变栅的设计、制作、老化工艺.该传感器具有体积小、量程大、精度高、长期稳定性好等特点,它主要用于油田井下压力的测量,也可用于其他工业部门.
【作 者】
:
史荣祥
【机 构】
:
航空航天部北京测控技术研究所
【出 处】
:
测控技术
【发表日期】
:
1992年02期
【关键词】
:
溅射薄膜
压力传感器
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本文介绍了一种新型应变式溅射薄膜压力传感器和它的结构原理及其应变栅的设计、制作、老化工艺.该传感器具有体积小、量程大、精度高、长期稳定性好等特点,它主要用于油田井下压力的测量,也可用于其他工业部门.
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