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微细电火花微孔加工技术是电火花加工领域的一个重要发展方向。在分析大量文献的基础上,系统地总结了微细电火花加工微孔技术的基础理论和加工工艺研究进展及应用现状,主要介绍了微细电火花加工的蚀除机理、蚀除产物排出机理、微细工具电极的在线制作、加工工艺参数的选择与辅助其他加工方法的复合加工工艺,分析了当前微细电火花微孔加工技术存在的问题,并展望其发展趋势。