KLA—TENCOR推出领先的晶片边缘检测解决方案,以满足先进的IC生产要求

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为帮助IC生产商实现更高的300mm晶片成品率,KLA-Tencor(NASDAQ:KLAC)目前正式发布其最新的VisEdge CV 300边缘检测系统。VisEdge CV 300采用了KEA—Tencor从并购Can—dela Instruments中获得已成熟的光学表面分析仪(OSA)技术,成为半导体行业内第一套能全面满是生产环境中晶片边缘检测所需的解决方案。
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