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GaN基紫外探测器发展概况
GaN基紫外探测器发展概况
来源 :激光与红外 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xiaoping123123
【摘 要】
:
基于宽禁带半导体材料的GaN基紫外探测器由于具有探测波长可调、工艺兼容性好、结构可多型化等优点,已成为近年来的研究热点。介绍了四种不同结构类型的紫外探测器:光导型、肖
【作 者】
:
刘万金
胡小燕
喻松林
【机 构】
:
华北光电技术研究所
【出 处】
:
激光与红外
【发表日期】
:
2012年11期
【关键词】
:
GaN
紫外探测器
光电二极管
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基于宽禁带半导体材料的GaN基紫外探测器由于具有探测波长可调、工艺兼容性好、结构可多型化等优点,已成为近年来的研究热点。介绍了四种不同结构类型的紫外探测器:光导型、肖特基势垒、金属-半导体-金属、p-i-n结,并回顾了GaN基紫外探测器的的研究历程。
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