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为了提高轮廓加工精度，本文针对高精度直线伺服系统，提出了一种将零相位误差跟踪控制器（ZPETC）和干扰观测器（DOB）相结合的鲁棒跟踪控制策略。ZPETC作为前馈跟踪控制器，保证了快速性，使系统实现准确跟踪；基于DOB的鲁棒反馈控制器补偿了外部扰动、未建模动态、系统参数变化和机械非线性等，保证了系统的强鲁棒性能。仿真结果表明了所提出的控制方案是有效的，既能实现完好跟踪，又有较强的鲁棒性能。从而有效地减小了轮廓误差，提高了轮廓加工精度。