【摘 要】
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为了提高燃料电池的有效面积比并减少封装用时,采用紫外固化技术成功封装了微型直接甲醇燃料电池.首先基于非硅MEMS工艺制作了带有封装孔的燃料电池集流板,然后组装燃料电池
【机 构】
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大连理工大学微纳米技术及系统辽宁省重点实验室,大连理工大学精密与特种加工技术教育部重点实验室,中国科学院大连化学物理研究所燃料电池研究室
【基金项目】
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基金项目：国家自然科学基金资助项目（50805013,50575036）,辽宁省自然科学基金资助项目（20042144）.
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为了提高燃料电池的有效面积比并减少封装用时,采用紫外固化技术成功封装了微型直接甲醇燃料电池.首先基于非硅MEMS工艺制作了带有封装孔的燃料电池集流板,然后组装燃料电池并在封装孔和两集流板间缝隙中注入紫外固化胶,最后用紫外灯照射30s完成封装.实验结果显示,电池在室温、全被动、3mol/L甲醇的条件下,峰值功率密度为2.1mW/cm^2,内阻为800mΩ.cm^2.这说明紫外固化封装技术对微型直接甲醇燃料电池来说是一种有效的方法,并有望应用于其他MEMS器件的封装.
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