论文部分内容阅读
<正> 本课题组从1988年以来,一直承担国家“863”新材料领域下达的以研制Mevva离子源为主的金属离子注入材料表面改性的任务。12年来已成功地研制了Mevva Ⅰ型、Ⅱ型ⅡA型、ⅡA-H型、ⅡB型和50型离子源。其中Mevva Ⅱ A-H型已广泛推广应用。到目前为止,已制造了约20台Mevva Ⅱ A-H型离子源,并推广到台湾、香港和大陆的大学、研究所以及工厂企业,为这些地区和单位发展金属离子注入材料表面改性的基础研究和工业应用研究做出了重要贡献。Mevva 50型离子源是适应工业化批