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高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究
高阻晶体硅电池扩散炉温度控制的研究
来源 :电子工业专用设备 | 被引量 : 0次 | 上传用户:dajiangdq68
【摘 要】
:
介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。
【作 者】
:
毛朝斌
陈特超
李克
林伯奇
【机 构】
:
中国电子科技集团公司第四十八研究所国家光伏装备工程技术研究中心
【出 处】
:
电子工业专用设备
【发表日期】
:
2012年4期
【关键词】
:
串级控制
扩散炉
PID
Cascade control
Diffusion furnace
PID
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介绍了一种用于太阳能电池高阻扩散工艺的扩散炉温度控制系统,该系统结构简单,控制效果良好,能满足60Ω以上高阻的生产要求。
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