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文章重新推导了多层介质中的格林函数,解析地计算了格林函数的积分表达式,实现了一种能同时处理导电衬底和导体厚度的三维电容计算方法.由于使用了离散余弦变换等预处理方法,它比基于有限元和时域有限差分的算法的计算效率更高.在这些算法的基础上,实现了一个三维电容提取工具的原型,且得到了第三方工具的验证.