【摘 要】
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在环境扫描电镜（ESEM）中，采用高灵敏度的pA-表测试系统，测量法拉第杯，以及Cu-Zn合金、单晶Si、单晶Al2O3三种样品的样品电流（Isp）。Isp值反映出由电子流和离子流控制的ESEM样品室内
【机 构】
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北京工业大学固体微结构与性能研究所
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（No.60171024）和北京教委资助项目（No.20061005030）
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在环境扫描电镜（ESEM）中，采用高灵敏度的pA-表测试系统，测量法拉第杯，以及Cu-Zn合金、单晶Si、单晶Al2O3三种样品的样品电流（Isp）。Isp值反映出由电子流和离子流控制的ESEM样品室内的电荷环境。法拉第杯的，sP反映出入射电子和离子所控制的电荷环境；样品的Isp反映出入射电子、信号电子和离子所控制的电荷环境。由Isp值可确定ESEM在不同操作和环境条件下的离子化效率、离子化饱和程度，以及气体分子的散射作用。
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