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综合介绍了电阻式半导体气体传感器的特性,重点对电阻式半导体气体传感器的工作原理、制作方法和加速传感器响应的措施进行了较为详细的阐述。综合该领域国内外研究现状,展望了电阻式半导体气体传感器的发展方向。
电阻式半导体气体传感器
【摘 要】
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综合介绍了电阻式半导体气体传感器的特性,重点对电阻式半导体气体传感器的工作原理、制作方法和加速传感器响应的措施进行了较为详细的阐述。综合该领域国内外研究现状,展望
【机 构】
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南京工业大学材料科学与工程学院
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2006年07期
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