离子源研究中的光谱诊断

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在离子源研究中,光谱分析作为一种重要的实验手段具有不可替代的优越性和便利性。作为一种非接触式的等离子体诊断手段,光谱分析可以在不影响离子源放电工作状态的前提下,对离子源放电等离子体的有关参数迅速作出测量和判断。本文列举了光谱诊断方法在离子源研究中的几种典型应用。
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