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为探究超声振动辅助微磨削的工艺参数对表面形貌和粗糙度的影响,基于微磨棒表面磨粒突出高度的正态分布模型,对磨棒表面形貌进行仿真,并结合磨削动力学,构建了超声振动辅助微尺度磨削磨粒与工件的运动学模型;利用MATLAB软件对超声振动辅助微磨削加工表面进行仿真分析,获得了不同加工参数下的超声振动辅助微磨削三维形貌和表面粗糙度;分析了磨削工艺参数和超声振动参数对加工表面形貌和表面粗糙度的影响规律。研究成果对超声振动辅助微磨削加工参数的选择具有一定的借鉴意义。