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提出了一种新型的加工方便、稳定性优越、更利于实现系列化和模块化并适用于高速轻载高精密加工场合的磁悬浮圆柱形直线运动导轨副。介绍了该导轨副的工作原理，利用ANSYS有限元分析软件分析了磁悬浮滑块稳定悬浮时的悬浮气隙为0．3mm时，圆柱形支承导轨几何精度和装配精度对磁场力和加工精度的影响。分析结果表明：单个圆柱形支承导轨圆柱度误差以及两圆柱形支承导轨安装时的平行度分别不超过一0．0010～0．0005mm／100mm和0．024mm时，磁悬浮圆柱形直线运动导轨副工作性能稳定，加工精度满足要求，为其几何精度的确