【摘 要】
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推导出了一个适用于槽板结构压膜空气阻尼的微分方程.该方程与传统雷诺方程的区别是在雷诺方程的左边增加了一个用以表示气体从槽流出所引起的阻尼效应的修正项,并考虑了槽中
【机 构】
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复旦大学微电子学系专用集成电路国家重点实验室,复旦大学微电子学系专用集成电路国家重点实验室,中国科学院上海微系统和信息技术研究所传感技术国家重点实验室,复旦大学微电子学系专用集成电路国家重点实验室 上
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推导出了一个适用于槽板结构压膜空气阻尼的微分方程.该方程与传统雷诺方程的区别是在雷诺方程的左边增加了一个用以表示气体从槽流出所引起的阻尼效应的修正项,并考虑了槽中有限气流通道长度的端头修正.在适当的边界条件下,利用此方程可以求解槽板压膜阻尼的压强分布、阻尼力和阻尼力系数.该槽板结构压膜空气阻尼的微分方程对槽板的厚度和横向尺度没有限制,为分析有限尺寸和有限厚度槽板的压膜空气阻尼提供了一个有用的方法.
A differential equation applicable to the air damping of the lamellar diaphragm is deduced.The difference between this equation and the traditional Reynolds equation is that a correction term is added to the left side of the Reynolds equation to denote the damping effect caused by gas outflow from the tank, And taking into account the end correction of the finite airflow channel length in the slot, the pressure distribution, damping force and damping force coefficient of the channel diaphragm damping can be solved by using this equation under appropriate boundary conditions. The differential equation has no limitation on the thickness and transverse dimension of the groove plate, which provides a useful method for analyzing the film air damping of the finite size and limited thickness groove plate.
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