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研制了一种微量程段的热式气体质量流量传感器。传感器芯片通过微机电系统（MEMS）工艺制备，芯片包括上下游测温电阻器和环境电阻器，其中测温电阻器有4只，对称分布在芯片中央位置，构成惠斯通电桥，芯片工作中采用恒压模式驱动。当气体流过芯片表面时，会导致检测电桥不平衡，流量信号变化转换为相应的电压信号。通过实验标定了传感器的输出曲线并对传感器的精度进行了测试，测试结果表明：研制的传感器在流量0-5mL／min的量程范围内，具有响应速度快、精度高的优点。