【摘 要】
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Tunable micro-electro-mechanical systems(MEMS)capacitors as the fundamental parts are embedded in MEMS AC voltage reference sources(VRS).Being concerned with the accuracy of the output voltage in the reference sources,it gets important to address uncertai
【机 构】
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MEMSDynamics&ControlResearchGroup,DepartmentofElectricalEngineering
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Tunable micro-electro-mechanical systems(MEMS)capacitors as the fundamental parts are embedded in MEMS AC voltage reference sources(VRS).Being concerned with the accuracy of the output voltage in the reference sources,it gets important to address uncertai
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