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运用1995—2008年数据对我国高技术产业R&D效率及其影响因素进行了面板单位根和面板协整研究。结果发现:R&D资本和R&D人力对R&D产出都具有显著贡献,但其贡献表现出规模报酬不变或规模报酬递减的特征;此外,市场势力与R&D效率具有倒U型特征,企业规模对R&D效率具有显著的正向影响,但国有产权比重却具有显著的负影响。政府为此应该采取相关措施,促进我国高技术产业R&D效率的提高。