【摘 要】
:
在28 nm及以下工艺节点,版图邻近效应已经成为一个重要问题.文章概述了版图邻近效应的研究及应用进展,介绍了Poly-gate、High-k/Metal-gate、FinFET等不同工艺下的6种版图邻
【机 构】
:
中国科学院大学,北京100049;中芯国际集成电路制造有限公司,上海201203;中国科学院微电子研究所,北京100029;广东省大湾区集成电路与系统应用研究院,广州510535
论文部分内容阅读
在28 nm及以下工艺节点,版图邻近效应已经成为一个重要问题.文章概述了版图邻近效应的研究及应用进展,介绍了Poly-gate、High-k/Metal-gate、FinFET等不同工艺下的6种版图邻近效应二级效应,包括阱邻近效应、扩散区长度效应、栅极间距效应、有源区间距效应、NFET/PFET栅极边界邻近效应和栅极线末端效应.在此基础上,详细论述了这些二级效应的工艺背景、物理机理以及对器件电学性能的影响,归纳了目前常见的工艺改进方法.最后,从工艺角度展望了深纳米工艺尺寸下版图邻近效应的发展趋势.
其他文献
基于作者所编制的凯威特型单层网壳优化设计软件(SSSAOP)的优化设计方案,采用非线性有限元分析方法,并利用荷载增量迭代法对已优化设计的网壳进行非线性分析,计算其安全储备,
为了实现Doherty功率放大器在双频模式下的宽带高效工作,设计了一种基于特定相移匹配的连续类双频Doherty放大器.利用相移周期重复性原理,通过确定两个目标频段上所需要的特
提出了一种适用于心电信号(ECG)检测的斩波调制放大器.基于现有的局部斩波调制放大器,采用全局斩波调制方式优化了电路噪声性能;采用正反馈阻抗提升技术显著提高了输入阻抗.
为进一步研究IGBT老化对其结温的影响,提出了一种新型的结温预测方法.通过功率循环加速老化实验,模拟模块实际运行老化状态,获取了不同老化程度下的饱和压降、集电极电流和结
提出了一种采用采样开关线性增强技术的12位100 Ms/s SAR模数转换器(ADC).首先采用了一种基片浮动技术,随着输入信号的变化,采样开关的寄生电容变化减小,总寄生电容降低.其次
本文的研究工作主要是围绕着变速恒频双馈风力发电机交流励磁电源研究展开的。根据变速恒频双馈风力发电系统对交流励磁电源的要求,本文首先对目前适合用作交流励磁电源的五种变换器进行了详细深入地比较分析。在双PWM变换器的网侧PWM变换器的研究中,提出了定向矢量控制方案,并进行仿真验证了所提出方案的良好控制性能。本文并针对双PWM变换器的要求,进行了外围单元电路的设计,包括功率模块驱动、保护、电源等外围电路
红外弱小目标检测一直是军事领域需要研究的热点问题,这关系着我国的国防军事力量。同时,在医疗、工业及交通等领域,红外弱小目标检测也有广泛的应用价值。然而高空中弱小目
分析了死区时间对逆变器输出电压谐波的影响,结合逆变器在旋转坐标系上的数学模型,提出了多旋转坐标系下死区谐波电压补偿策略,即在旋转坐标系下在线检测死区谐波电压,通过谐
电压凹陷是现代电力用户所面临的最重要的电磁干扰问题之一。敏感负荷由于电力系统发生电压凹陷而不能正常工作,这给企业带来了巨大的经济损失。因此,对电压凹陷问题进行研究与治理非常重要。鉴于此,本文从四个方面阐述了电压凹陷问题,包括电压凹陷的测量与评估、电压凹陷的分析与计算、电压凹陷的实时检测方法研究以及基于动态电压恢复器(Dynamical voltage RestorerDVR)的电压凹陷治理。论文介
提出了一种用于时间交织模数转换器(TIADC)通道间采样时间误差的校正算法.该算法是基于参考通道的后台校正算法.通过比较参考通道与带校准通道的输出差异提取出采样误差信息,