利用有限元法的陶瓷压阻式传感器仿真分析与优化

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阐述了陶瓷压阻式传感器的结构组成和工作原理。利用有限元ANSYS11.0软件对该陶瓷压阻式传感器进行仿真分析,分析结果表明,该陶瓷压阻式传感器线性度较低,灵敏度较差;随后对厚膜电阻布片位置和弹性膜片的径厚比进行优化,通过计算得出优化后陶瓷压阻式传感器的线性度提高0.23%,灵敏度提高20.5mV/MPa。这些分析为此类传感器的设计提供了理论依据。
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