三氟化氮气体的制备及纯化方法综述

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三氟化氮(NF3)作为一种重要的电子气体及氟化剂,广泛应用于微电子工业中。本文阐述了目前工业生产中NF3的主要制备方法:化学氟化和电解法,化学氟化主要利用固态的氟化铝铵(NH4)3Al F6和F2为原料合成NF3,电解法生产NF3主要是电解熔融的NH4HF2。四氟化碳是工业制备三氟化氮的主要杂质,也是最难除去的杂质,提纯方法主要有精馏法,冷阱法及吸附法。
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