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在半导体生产过程中,车间存在几个甚至几十个高温炉,对其温度和时间控制是一个很大的问题.和菲斯卡尔有限公司合作,设计了一种选择K型热电偶进行温度检测、采用AT89C51单片机进行控制的多路温度检测系统.在此,文章具体阐述了硬件电路设计、性能特点、工作原理及软件设计方案.
多路温度检测自动控制系统的设计实现
【摘 要】
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在半导体生产过程中,车间存在几个甚至几十个高温炉,对其温度和时间控制是一个很大的问题.和菲斯卡尔有限公司合作,设计了一种选择K型热电偶进行温度检测、采用AT89C51单片机
【机 构】
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天津理工大学电子信息与通信工程学院,天津市公安局十处,桂林电子科技大学通信与信息工程系
【出 处】
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天津理工大学学报
【发表日期】
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2007年2期
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