论文部分内容阅读
目前,鲜见有关脉冲偏压对多弧离子镀CrAlN薄膜耐蚀性能影响的报道。以不同的脉冲偏压在304不锈钢表面多弧离子镀CrAlN薄膜。采用扫描电镜、显微镜、X射线衍射仪、硬度仪、粗糙度仪分析了CrAlN薄膜的表面形貌、相结构、硬度、表面粗糙度及耐蚀性能,分析了脉冲偏压对相关性能的影响。结果表明:随着脉冲偏压幅值的增大,CrAlN薄膜表面大颗粒及凹坑尺寸和数量减少,薄膜质量提高;CrAlN薄膜主要由(Cr,Al)N相组成,随着偏压增加,CrAlN薄膜出现(220)择优取向;CrAlN薄膜表面粗糙度随脉冲偏压增大而