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γ射线辐照对MOS/SIMNI器件电学性能的影响
γ射线辐照对MOS/SIMNI器件电学性能的影响
来源 :核技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:kyn5210
【摘 要】
:
利用N~+注入形成的SIMNI与激光再结晶的SOI材料制作了MOS器件,比较研究了~(60)Co γ射线辐照对两种SOI材料制作的MOS器件电学性能的影响。
【作 者】
:
林成鲁
李金华
金雨青
林梓鑫
邹世昌
【机 构】
:
中国科学院上海冶金研究所,常州半导体厂
【出 处】
:
核技术
【发表日期】
:
1991年1期
【关键词】
:
Γ射线
辐照
SIMNI材料
MOS器件
SIMNI materials MOS devices γ-ray irradiation
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利用N~+注入形成的SIMNI与激光再结晶的SOI材料制作了MOS器件,比较研究了~(60)Co γ射线辐照对两种SOI材料制作的MOS器件电学性能的影响。
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