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期刊论文
基于TCAD的氧化工艺参数影响分析
基于TCAD的氧化工艺参数影响分析
来源 :中国新技术新产品 | 被引量 : 0次 | 上传用户:mayf014
【摘 要】
:
随着集成电路工艺的不断发展,特征尺寸越来越小,工艺对器件参数的影响越来越明显。该文通过TCAD工具模拟集成电路氧化工艺的过程,然后分别改变氧化的工艺参数,分析氧化工艺参
【作 者】
:
张照锋
董海青
【机 构】
:
南京信息职业技术学院
【出 处】
:
中国新技术新产品
【发表日期】
:
2020年11期
【关键词】
:
工艺
器件
仿真
【基金项目】
:
南京信息职业技术学院开放基金支持《高速CMOS sigma-delta ADC集成电路研究与设计》,项目编号KF20160101
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随着集成电路工艺的不断发展,特征尺寸越来越小,工艺对器件参数的影响越来越明显。该文通过TCAD工具模拟集成电路氧化工艺的过程,然后分别改变氧化的工艺参数,分析氧化工艺参数对氧化结果的影响,进而在器件设计过程中合理地进行工艺优化。
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