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<正> 一、前言 化学气相沉积法(CVD)生产的石英玻璃纯度高,使紫外透过性能改善,但它的水含量(OH~-)很高,对玻璃的透红外性能、光学均匀性、粘度、析晶性能等一系列性质影响很大。解决石英玻璃脱水可以采用干燥气流加热脱水、真空除水,但费时很长,效果不好。在生产过程中用无氢火焰或在氯气氛沉积、熔融,由于需要辅助加热等原因亦未普遍采用。近年来用含F、Cl等卤素的气、液态化合物对石英玻璃、石英粉末、光纤坯棒及多孔高硅氧