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光调制反射谱作为MBE生长中原位检测手段的应用
光调制反射谱作为MBE生长中原位检测手段的应用
来源 :电子学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:yuyuspecialshow
【摘 要】
:
本文介绍了光调制光谱(PR)在MBE生长中原位光谱检测中的应用,利用了光调制光谱(PR)本身特有的室温下有很高的灵敏度,并进一步与MBE系统有效结合,为MBE生长原位光谱检测增添了一种可行的手段。
【作 者】
:
刘兴权
陆卫
【机 构】
:
上海技术物理研究所
【出 处】
:
电子学报
【发表日期】
:
1997年11期
【关键词】
:
光调制反射射谱
MBE
原位检测
半导体材料
Photo-modulated reflectance spectrum
Molecular beam expi
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本文介绍了光调制光谱(PR)在MBE生长中原位光谱检测中的应用,利用了光调制光谱(PR)本身特有的室温下有很高的灵敏度,并进一步与MBE系统有效结合,为MBE生长原位光谱检测增添了一种可行的手段。
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